진공 처리 장치, 진공 처리 장치 제어 방법, 디바이스 제조방법, 및 저장 매체

Vacuum processing apparatus, method of controlling vacuum processing apparatus, device manufacturing method, and storage medium

Abstract

게이트 밸브를 위한 구동부와 배기 펌프를 설치하기 위해 필요한 공간이 감소되어 전체 장치를 소형화한다. 진공 처리 장치는 진공 챔버(5), 및 진공 챔버(5)의 배기 포트(10)와 통신하는 배기 펌프(6)와, 배기 포트(10)에 대해 근접 및 이격되는 방향으로 이동하여 배기 포트(10)를 개폐하는 밸브 본체(11)를 갖는 게이트 밸브(7)를 포함한다. 진공 챔버(5)에는 밸브 본체(11)의 이동 방향으로부터 경사진 방향으로 배기 포트(10)로부터 연장되는 연결부(8)가 제공된다. 연결부(8)는 배기 펌프(6)에 연결된다. 게이트 밸브(7)는 진공 챔버(5) 내에 배치된 밸브 본체(11), 및 밸브 본체(11)의 이동 방향으로 연장된 로드(13)를 갖고 밸브 본체(11)를 구동하는 구동부(12)를 포함한다. 구동부(12)는 연결부(8)의 외부에 배치된다. 진공 처리 장치, 게이트 밸브, 연결부, 배기 펌프, 공간

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle