웨이퍼 검사용 프로버의 척 장치

Unit of Chuck in Prober for Wafer Test

Abstract

본 발명은 웨이퍼 프로버용 척을 구성함에 있어서, 웨이퍼가 장착되는 척플레이트와, 척플레이트의 하단에 위치하여 하층에서 발생하는 열을 상층의 척플레이트에 전달하는 열전달플레이트와, 척플레이트 및 웨이퍼를 가열 및 냉각시키기 위한 열전반도체을 이용한 온도조절플레이트와, 열전반도체의 하층에 설치되어 열전반도체에 발생하는 발열 및 냉각열량을 흡수하는 열교환플레이트로 구성된 프로버용 척 장치를 제공하고, 척플레이트와 척의 외곽 가이드부는 전기적 절연층으로 구분시킴으로써 웨이퍼에 대한 고온 또는 저온검사의 동시 수행을 가능하게 하고 웨이퍼 검사의 정확성을 향상시킬 수 있다. 웨이퍼, 프로버, 척, 온도조절, 열전반도체

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